李莺歌

副教授

副教授 硕士生导师

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所在单位:电子教研室

学历:博士研究生

办公地点:青岛市崂山区松岭路99号 青岛科技大学 自动化与电子工程学院

论文成果

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声表面波传感器温度频率特性的数值分析

发布时间:2023-10-19 点击次数:

关键字:声表面波传感器;;数值模拟;;热传导;;膜;;微电子学;;温度频率特性
摘要:利用ANSYS软件对声表面波传感器进行温度频率特性的数值模拟研究。分析了在一定压力情况下,基于氮化铝压电薄膜铝叉指换能器的延迟型传感器结构内部的温度有限元分布情况。结果表明外界自然对流对传感器内部的温度场及应力场分布影响很小。并模拟计算出温度与输出串联谐振频率变化的关系,通过数据拟合得出,SAW传感器的输出谐振频率与环境温度变化呈良好的线性关系,因此可应用于温度的精确测试。
卷号:v.67
期号:S1
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