用PCVD法制备抗高温氧化涂层的研究
发布时间：2023-10-19 点击次数：
关键字：等离子体化学气相沉积;;涂层;;氧化性
摘要：研究了用ＰＣＶＤ法所制备的ＴｉＮ，ＴｉＡ１Ｎ及ＴｉＳｉＮ硬质涂层的抗高温氧化性及ＴｉＮ涂层在双氧水介质中的抗氧化性。结果表明，ＴｉＡ１Ｎ，ＴｉＳｉＮ涂层在空气中的抗高温氧化性可达７００℃以上， ＴｉＮ涂层可达６００℃。在双氧水介质中， ＰＣＶＤ－ＴｉＮ涂层仍具有较强的抗氧化能力， 且优于ＰＶＤ－ＴｉＮ 涂层
卷号：
期号：03
是否译文：否
关键字：等离子体化学气相沉积;;涂层;;氧化性
摘要：研究了用ＰＣＶＤ法所制备的ＴｉＮ，ＴｉＡ１Ｎ及ＴｉＳｉＮ硬质涂层的抗高温氧化性及ＴｉＮ涂层在双氧水介质中的抗氧化性。结果表明，ＴｉＡ１Ｎ，ＴｉＳｉＮ涂层在空气中的抗高温氧化性可达７００℃以上， ＴｉＮ涂层可达６００℃。在双氧水介质中， ＰＣＶＤ－ＴｉＮ涂层仍具有较强的抗氧化能力， 且优于ＰＶＤ－ＴｉＮ 涂层
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