用Ti(OC_2H_5)_4制备Ti(CN)涂层研究
发布时间：2023-10-19 点击次数：
关键字：等离子体，金属有机化合物，钛酸四乙酯，碳氮化钛，显微分析
摘要：本文叙述了采用金属有机物钛酸四乙酯（Ｔｉ［ＯＣ２Ｈ５］４取代四氯化钛，运用ＰＣＶＤ外加热法沉积Ｔｉ（ＣＮ）涂层，并对涂层进行了Ｘ射线衍射（ＸＲＤ）、扫描电镜（ＳＥＭ）、Ｘ光电子（ＸＰＳ）分析，其显微硬度可达到１６００ｋｇ／ｍｍ２，膜层结构仍为柱状晶
卷号：
期号：01
是否译文：否
关键字：等离子体，金属有机化合物，钛酸四乙酯，碳氮化钛，显微分析
摘要：本文叙述了采用金属有机物钛酸四乙酯（Ｔｉ［ＯＣ２Ｈ５］４取代四氯化钛，运用ＰＣＶＤ外加热法沉积Ｔｉ（ＣＮ）涂层，并对涂层进行了Ｘ射线衍射（ＸＲＤ）、扫描电镜（ＳＥＭ）、Ｘ光电子（ＸＰＳ）分析，其显微硬度可达到１６００ｋｇ／ｍｍ２，膜层结构仍为柱状晶
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