沉积电压对辅助加热PCVD-TiN涂层的影响
发布时间：2023-10-19 点击次数：
关键字：辅助加热式PCVD,TiN涂层;;沉积电压
摘要：研究了不同的沉积电压对辅助加热式PCVD -TiN涂层的影响。实验证明 ,提高沉积电压可以细化TiN涂层的柱状晶结构 ,增加TiN涂层的显微硬度和沉积速率。在试验范围内 ,涂层内残存的氯含量基本不受沉积电压的影响
卷号：
期号：02
是否译文：否
关键字：辅助加热式PCVD,TiN涂层;;沉积电压
摘要：研究了不同的沉积电压对辅助加热式PCVD -TiN涂层的影响。实验证明 ,提高沉积电压可以细化TiN涂层的柱状晶结构 ,增加TiN涂层的显微硬度和沉积速率。在试验范围内 ,涂层内残存的氯含量基本不受沉积电压的影响
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期号：02
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