用PCVD法制备抗高温氧化涂层的研究
- Key Words:等离子体化学气相沉积;;涂层;;氧化性
- Abstract:研究了用PCVD法所制备的TiN,TiA1N及TiSiN硬质涂层的抗高温氧化性及TiN涂层在双氧水介质中的抗氧化性。结果表明,TiA1N,TiSiN涂层在空气中的抗高温氧化性可达700℃以上, TiN涂层可达600℃。在双氧水介质中, PCVD-TiN涂层仍具有较强的抗氧化能力, 且优于PVD-TiN 涂层
- Volume:
- Issue:03
- Translation or Not:no