树脂硬度对金刚石切割线切割性能的影响

Key Words:树脂固化;肖氏硬度;断裂表面;硅片切割

Abstract:研究不同树脂结合剂对金刚石切割线切割性能的影响。分别采用纯酚醛树脂、环氧改性酚醛树脂、芳烷基改性酚醛树脂制备树脂固化硬度试样,并检测试样的肖氏硬度。用扫描电镜观察树脂固化后的试样断裂表面,发现不同树脂固化后的致密程度不同。分别制作金刚石切割线进行单晶硅切割实验。实验结果表明:采用固化硬度高、固化后致密性好的纯酚醛树脂制作的切割线在切割时的线弓最小,加切时间较短,金刚石颗粒不易脱落,切割能力强。

Volume:v.39;No.229

Issue:01

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