青岛科技大学  English 
韩荣江
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硕士生导师  

教师拼音名称:HRJ

学历:博士研究生

联系方式:青岛郑州路53号(青岛科技大学材料学院)

学位:工学博士

毕业院校:山东大学

学科:

材料物理与化学

材料学

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微管在6H-SiC单晶生长过程中的演化

关键字:碳化硅单晶;;升华法;;调制掺氮;;微管;;生长前沿

摘要:采用升华法生长调制掺氮的6HSiC单晶,其[0001]方向纵切片的掺氮条纹表明,晶体的生长前沿由初始生长阶段的凸形逐渐变成了后续生长阶段近似平坦的形状。发现近似平坦的生长前沿有利于单晶质量的提高。透射光学显微镜观察发现,若微管的延伸方向与6HSiC晶体的[0001]方向偏离角度较大时,微管变得不稳定而离解消失;微管也可终止于六边形空洞或硅滴处。氮元素掺杂可使6HSiC晶体的晶格发生畸变,可导致产生新微管。

卷号:

期号:11

是否译文:

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