Key Words:材料科学;;热力学;;运输;;流体动力学;;反应
Abstract:本文建立了无定形硅粉成核的详细反应机理与流体流动、传热和传质模型耦合的数值模型,系统地对研究化学汽相沉积(CVD)反应器中操作参数对硅烷热解的影响规律。利用计算流体动力学(CFD)软件FLUENT 6.3对硅烷分解和硅粉成核进行预测,探讨了总反应压力、进气成分和进气速度对硅烷转化和硅粉成核的影响规律。通过比较数值模拟的硅粉成核和文献中的实验数据,验证了该模型的有效性。结果表明,总反应压力、进口硅烷浓度对硅粉成核有着重要影响,而进口气体速度在一定范围内影响较小。
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